全國(guó)服務(wù)咨詢熱線:
18627990650
18627990650
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > 氣體傳感器 > Gasboard-2060紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝
簡(jiǎn)要描述：紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2025-05-27訪 問(wèn) 量：1111產(chǎn)品分類
Product classification相關(guān)文章
RELATED ARTICLES詳細(xì)介紹
產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
（3）無(wú)耗材
（4）模擬/數(shù)字通信
（5）模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測(cè)原理 | NDIR |
| 檢測(cè)氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測(cè)限 | 1ppm |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測(cè)
產(chǎn)品咨詢
全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)電話
027-81628829
電子郵箱：cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn
公司地址：武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號(hào)
業(yè)務(wù)咨詢微信
